現(xiàn)場供氣
現(xiàn)場供氣,是一種在發(fā)達國家非常成熟的氣體供應方式,其含義是由專業(yè)氣體公司在氣體用戶現(xiàn)場,為滿足生產(chǎn)工藝中對氣體種類、 純度和壓力等的不同需求,提供氣體解決方案,投資建設和管理氣體生產(chǎn)和供應裝置,一對一地供應工業(yè)氣體。 使用第三方現(xiàn)場供氣可以克服富裕氣體產(chǎn)品因淡旺季差異對供應可靠性的影響,大大提高供應的可靠性,并且由于供應方式的改變使得氣體使用成本大大下降。從國際經(jīng)驗看,海外絕大多數(shù)的客戶選擇了第三方供氣,而不是由客戶自己投資建設氣站,其原因是:
-省力。在需要用氣時打開閥門不需要時就關掉它,不須花錢買設備,費力管設備,用氣就像使用自來水一樣的方便;
-省心。氣體設備的運行風險、生產(chǎn)成本和氣體質(zhì)量由專業(yè)氣體公司承擔和控制,在整個合同期內(nèi)用氣成本清晰明了不受市場波動影響;
-可靠。氣體的現(xiàn)場制氣系統(tǒng)融合了當今世界先進技術水平的現(xiàn)場制氣方案和設備?,F(xiàn)場制氣系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)全天候的在線和遠程控制,能自產(chǎn)備用液氧、液氮保障客戶用氣的性;
-經(jīng)濟。專業(yè)公司管理能在不增加客戶全成本的前提下,降低客戶的氣體使用成本。我們提供多種適應性強的現(xiàn)場供氣方式,我們擁有專業(yè)技術人員保證您的氣體供應質(zhì)量好、安全度高和可靠性強。 根據(jù)您的生產(chǎn)過程的參數(shù)(純度、流量、氣壓),我們將為您量身定制一套現(xiàn)場供氣方案,使我們的供氣設施可以和您的用氣項目可以同步建成,使客戶在不增加一分錢投資的前提下方便地使用專業(yè)供氣的氣體,并達到省力、省心、省錢的效果。
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工業(yè)氣體在化學和石化工業(yè)中的應用方式非常豐富多樣。有惰化、氫化和氧化處理或者常見簡單的燃燒等典型的應用,氮氣在化工廠,主要用作保護氣、置換氣、洗滌氣,以保障安全生產(chǎn),低溫液化氣體的應用更是促成了許多革新,例如反應溫度控制和溶劑回收,使您在降低成本的同時也保護了環(huán)境。
對于需求高純度氣體供應的化工企業(yè), 璟和電子科技將會尋找適合的方案,為每一位朋友節(jié)約每一分錢成本,帶來每一份流暢可靠的服務。
氮氣在化工廠,主要用作保護氣、置換氣、洗滌氣,以保障安全生產(chǎn)
氫、氧等作為能量介質(zhì)是航空、航天的重要燃料;
氬、氮、氦作為保護介質(zhì)用于生產(chǎn)高純凈、超絕緣、超導等高新技術領域;
半導體產(chǎn)業(yè)是現(xiàn)代信息社會的核心基礎產(chǎn)業(yè)?,F(xiàn)今的半導體技術,以高頻、大電流、高電壓、低功耗、納米加工技術、SoC設計、SiP封裝技術為特征,依然充滿創(chuàng)新的活力。半導體光電、太陽能光伏、MEMS等新一代半導體基礎產(chǎn)業(yè),新型平板顯示、下 一代互聯(lián)網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)、智能電網(wǎng)、汽車電子、節(jié)能環(huán)保等21世紀的戰(zhàn)略性新型產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都將以半導體技術與產(chǎn)品為重要基礎。 半導體行業(yè)常用氣體:NH3 氨氣應用:CVD工藝植入氮化硅薄膜,在帶間隙的高
速、高功率半導體晶體管上植入氮化硅化合物等。N20 一氧化二氮 (笑氣)應用:和硅烷一起用于在CVD過程中生成氮化硅薄
膜。SiH4 硅烷應用:在外延生長技術中用作硅源、用于低溫二氧
化硅CVD、用于氮化硅CVD 、氯硅烷類及烷基氯硅烷類的骨架結(jié)構,硅的外延生長、多晶硅、氧化硅、氮
化硅等的原料。BCl3 三氯化硼應用:等離子刻蝕、在離子植入中用作硼源(N摻雜)CO2 二氧化碳應用:在半導體制造中氧化、擴散、化學氣相淀積,CVD中改變?nèi)ルx子水的導電性。C4F8 八氟環(huán)丁烷應用:刻蝕氣體 / 等離子刻蝕SF6 六氟化硫應用:等離子刻蝕CF4 四氟化碳應用:以純四氟化碳或者和氧氣混合的方式,用于在CVD過程之前,對二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些
硅-金屬化合物進行的等離子刻蝕Xe 氙氣應用:在離子植入中作為電子源
利用太陽能的佳方式是光伏轉(zhuǎn)換,就是利用光伏效應,使太陽光射到硅材料上產(chǎn)生電流直接發(fā)電。以硅材料的應用開發(fā)形成的產(chǎn)業(yè)鏈條稱之為光伏產(chǎn)業(yè),包括高純多晶硅原材料生產(chǎn)、太陽能電池生產(chǎn)、太陽能電池組件生產(chǎn)、相關生產(chǎn)設備的制造等。 太陽能是未來清潔、安全和可靠的能源,發(fā)達國家正在把太陽能的開發(fā)利用作為能源革命主要內(nèi)容長期規(guī)劃,光伏產(chǎn)業(yè)正日益成為國際上繼IT、微電子產(chǎn)業(yè)之后又一爆炸式發(fā)展的行業(yè)。在光伏行業(yè)中,氣體主要用于薄膜沉積和清洗。這些工藝中,常用的氣體有:氨氣(NH3)、硅烷(SiH4)、四氟化碳(CF4)、三氟化氮(NF3)。光伏行業(yè)中的常用氣體
NH3 氨氣
應用:在CVD過程中生成氮化硅薄膜
SiH4 硅烷
應用:在外延生長技術中用作硅源、用于低溫二氧化硅CVD、用于氮化硅CVD
NF3 三氟化氮
應用:清洗CVD反應室, 對硅和氮化硅蝕刻
O2 氧氣
應用:爐室清洗
PH3 磷烷
應用:摻雜氣體
He 氦氣
應用:用于冷卻、晶體生長、等離子干刻
CF4 四氟化碳
應用:以純四氟化碳或者和氧氣混合的方式,用于在CVD過程之前,對二氧化硅、氮化硅、多晶硅和一些硅-金屬化合物進行的等離子刻蝕。
B2H6 乙硼烷
應用:在離子植入中用作硼源(P摻雜)、用于外延生長