UHP?金屬墊片面密封接頭（最大尺寸為?1?英寸）–?VacuSeal??|?#4?GVGR-N
VacuSeal??面密封接頭專為超高純度氣體分配系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。這些接頭具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常適合用于清潔度至關(guān)重要的半導(dǎo)體制造應(yīng)用。
技術(shù)規(guī)格
連接尺寸（英寸）：1/4"
連接?2?尺寸?(mm):不適用
連接?3?尺寸（英寸）：不適用
連接?4?尺寸（英寸）：不適用
連接?2?尺寸（英寸）：不適用
機(jī)身材質(zhì)：鎳（電拋光）
連接?4?樣式：不適用
連接?3?樣式：不適用
配置：保留凹槽樣式
連接方式：不適用
總體長度：不適用
產(chǎn)品類別：金屬墊片
連接?2?樣式：不適用
選項(xiàng)：保留凹槽樣式
產(chǎn)品類別：壓蓋、閥體、焊接組件、焊接模塊、墊圈、螺母、蓋、塞、
機(jī)身材質(zhì)：壓蓋、閥體、螺母：316、316L、316L?VAR、316L?VIM/VAR?不銹鋼墊片：鎳、不銹鋼、Kel-F?、Teflon?
連接尺寸：高達(dá)?1?英寸；6?至?18?毫米
連接類型：管對焊、自動管對焊、承插焊、NPT、A-lok、直螺紋
工作溫度：高達(dá)?1000?(537°C)?°F
壓力等級：高達(dá)?9,000?(620?bar)?psi
項(xiàng)目信息
VacuSeal??金屬墊片面密封接頭具有極高的泄漏完整性，使其適用于需要超高純度條件的關(guān)鍵應(yīng)用，例如半導(dǎo)體工具連接、閥歧管盒?(VMB)?和氣體分配系統(tǒng)。該配件采用配合墊圈和環(huán)形設(shè)計(jì)，形成金屬對金屬密封，并提供從真空到?9000?psig?的無泄漏服務(wù)。

VacuSeal??接頭尺寸范圍從?1/8?到?1?英寸，并提供各種閥體和壓蓋配置。它們由?Veriflo?專有的?Vericlean??低硫?316L?不銹鋼在?100?級潔凈室中制造。標(biāo)準(zhǔn)的?5?Ra?電拋光潤濕表面光潔度可減少截留區(qū)域，同時提供出色的耐腐蝕性。壓蓋采用高純度鎳和?Hastelloy?C-22??制成，以確保在極腐蝕性應(yīng)用中的性能和可靠性。

VacuSeal??接頭設(shè)計(jì)用于平面和?Verfilo?的?TorqTite??自對準(zhǔn)面密封墊圈，無需工具進(jìn)行安裝，并消除了由于熱循環(huán)和振動導(dǎo)致的組件松動。TorqTite??還可確保密封，即使是在損壞的環(huán)形線圈上，并允許施加極高的扭矩，而不會損壞密封表面。這與?VacuSeal??接頭的超高純度結(jié)構(gòu)材料相結(jié)合，可最大限度地減少顆粒產(chǎn)生并確保在清潔度至關(guān)重要的晶圓制造操作中的泄漏完整性。

所有?VacuSeal??接頭都經(jīng)過氦氣泄漏測試，以確保在苛刻的?UHP?應(yīng)用中的性能和可靠性。

市場：
??半導(dǎo)體
??工具廠
??分析實(shí)驗(yàn)室
??制藥
??生物制藥
??航空航天
??工業(yè)

應(yīng)用：
??腐蝕性氣體和特種氣體
??半導(dǎo)體工廠氣體分配系統(tǒng)
??半導(dǎo)體工具
??工具連接件
??氣體柜
??閥歧管箱?(VMB)

特性/優(yōu)點(diǎn)：
??兩個泄漏測試端口，便于泄漏測試
??泄漏率：≤1?x?10-9?STD?scc?c?He
??5?Ra?內(nèi)部電拋光表面光潔度
??母螺母采用增強(qiáng)的電鍍工藝鍍銀，適用于清潔、電拋光和鈍化中使用的腐蝕性化學(xué)工藝
??非旋轉(zhuǎn)母螺母可防止在裝配過程中傳遞扭矩，因此可最大限度地減少導(dǎo)致應(yīng)力集中的部件扭曲。
??防擦傷母螺母確保裝配一致，無需電鍍或潤滑。
??獲得專利的?TorqTite??墊片最初接觸內(nèi)錐，徑向擠出任何截留的污染物
??壓蓋上的熱代碼提供原材料可追溯性
??從系統(tǒng)中移除組件不需要軸向間隙
??平滑過渡到內(nèi)徑可最大限度地減少截留區(qū)域


Hastelloy?C-22??是?Haynes?International,?Inc.?的注冊商標(biāo)。
?