UHP?金屬墊片面密封接頭（最大尺寸為?1?英寸）–?VacuSeal??|?#4?GVGR-N
VacuSeal??面密封接頭專為超高純度氣體分配系統(tǒng)而設計。這些接頭具有出色的可靠性和泄漏完整性，非常適合用于清潔度至關重要的半導體制造應用。
技術規(guī)格
連接尺寸（英寸）：1/4"
連接?2?尺寸?(mm):不適用
連接?3?尺寸（英寸）：不適用
連接?4?尺寸（英寸）：不適用
連接?2?尺寸（英寸）：不適用
機身材質：鎳（電拋光）
連接?4?樣式：不適用
連接?3?樣式：不適用
配置：保留凹槽樣式
連接方式：不適用
總體長度：不適用
產品類別：金屬墊片
連接?2?樣式：不適用
選項：保留凹槽樣式
產品類別：壓蓋、閥體、焊接組件、焊接模塊、墊圈、螺母、蓋、塞、
機身材質：壓蓋、閥體、螺母：316、316L、316L?VAR、316L?VIM/VAR?不銹鋼墊片：鎳、不銹鋼、Kel-F?、Teflon?
連接尺寸：高達?1?英寸；6?至?18?毫米
連接類型：管對焊、自動管對焊、承插焊、NPT、A-lok、直螺紋
工作溫度：高達?1000?(537°C)?°F
壓力等級：高達?9,000?(620?bar)?psi
項目信息
VacuSeal??金屬墊片面密封接頭具有極高的泄漏完整性，使其適用于需要超高純度條件的關鍵應用，例如半導體工具連接、閥歧管盒?(VMB)?和氣體分配系統(tǒng)。該配件采用配合墊圈和環(huán)形設計，形成金屬對金屬密封，并提供從真空到?9000?psig?的無泄漏服務。

VacuSeal??接頭尺寸范圍從?1/8?到?1?英寸，并提供各種閥體和壓蓋配置。它們由?Veriflo?專有的?Vericlean??低硫?316L?不銹鋼在?100?級潔凈室中制造。標準的?5?Ra?電拋光潤濕表面光潔度可減少截留區(qū)域，同時提供出色的耐腐蝕性。壓蓋采用高純度鎳和?Hastelloy?C-22??制成，以確保在極腐蝕性應用中的性能和可靠性。

VacuSeal??接頭設計用于平面和?Verfilo?的?TorqTite??自對準面密封墊圈，無需工具進行安裝，并消除了由于熱循環(huán)和振動導致的組件松動。TorqTite??還可確保密封，即使是在損壞的環(huán)形線圈上，并允許施加極高的扭矩，而不會損壞密封表面。這與?VacuSeal??接頭的超高純度結構材料相結合，可最大限度地減少顆粒產生并確保在清潔度至關重要的晶圓制造操作中的泄漏完整性。

所有?VacuSeal??接頭都經過氦氣泄漏測試，以確保在苛刻的?UHP?應用中的性能和可靠性。

市場：
??半導體
??工具廠
??分析實驗室
??制藥
??生物制藥
??航空航天
??工業(yè)

應用：
??腐蝕性氣體和特種氣體
??半導體工廠氣體分配系統(tǒng)
??半導體工具
??工具連接件
??氣體柜
??閥歧管箱?(VMB)

特性/優(yōu)點：
??兩個泄漏測試端口，便于泄漏測試
??泄漏率：≤1?x?10-9?STD?scc?c?He
??5?Ra?內部電拋光表面光潔度
??母螺母采用增強的電鍍工藝鍍銀，適用于清潔、電拋光和鈍化中使用的腐蝕性化學工藝
??非旋轉母螺母可防止在裝配過程中傳遞扭矩，因此可最大限度地減少導致應力集中的部件扭曲。
??防擦傷母螺母確保裝配一致，無需電鍍或潤滑。
??獲得專利的?TorqTite??墊片最初接觸內錐，徑向擠出任何截留的污染物
??壓蓋上的熱代碼提供原材料可追溯性
??從系統(tǒng)中移除組件不需要軸向間隙
??平滑過渡到內徑可最大限度地減少截留區(qū)域


Hastelloy?C-22??是?Haynes?International,?Inc.?的注冊商標。
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