英特格液體過(guò)濾器
Entegris?具有領(lǐng)先的技術(shù)和控制技術(shù)，水，去除化學(xué)的污染。英特格（英特格）提供各種薄膜和各種設(shè)備在一個(gè)環(huán)境下，可以滿足各種化學(xué)性能以及制程條件下的生產(chǎn)性能。
FlowPlane??線性過(guò)濾技術(shù)
一流的線性過(guò)濾技術(shù)。

Torrento??X?過(guò)濾器
一流的水性、除氣和腐蝕性酸堿化學(xué)品過(guò)濾。

Torrento??S?過(guò)濾器
一流的、領(lǐng)先的溶劑和?BEOL?化學(xué)品過(guò)濾。

QuickChange??NX?過(guò)濾器
對(duì)水性、除氣和腐蝕性酸堿化學(xué)品進(jìn)行高級(jí)過(guò)濾。

Fluorogard??NX?過(guò)濾器
清潔、經(jīng)濟(jì)高效地過(guò)濾非除氣、水性、酸和堿化學(xué)物質(zhì)或高級(jí)溶劑應(yīng)用。

Guardian??ECD?過(guò)濾器
對(duì)低溫稀酸和堿進(jìn)行高級(jí)、超凈過(guò)濾。

Intercept??HP/HS?過(guò)濾器
同類(lèi)最佳的低溫稀酸過(guò)濾器。

Impact??8G?過(guò)濾器?同類(lèi)
最佳、超清潔、使用點(diǎn)光化學(xué)過(guò)濾器，提供卓越的流速性能和減少微氣泡形成的能力。

Microgard??UC?過(guò)濾器
一流的超潔凈散裝光化學(xué)過(guò)濾器。

Eximor??SV5?過(guò)濾器
高級(jí)清潔、使用點(diǎn)過(guò)濾器，專(zhuān)為?NTD?和?RRC?溶劑而設(shè)計(jì)。

?

流量管理
氣體過(guò)濾器和精制器
液體過(guò)濾器和精制器
精準(zhǔn)管理
特殊氣體
裸片/CSP托盤(pán)盤(pán)
高糧包材
硬碟組合件管理
光罩和倍縮光罩管理
特殊材料
其他主題處理