美國ENTEGRIS英特格，氣體過濾器?WGMXMSRR4

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Wafergard??MAX?在線?PTFE?氣體過濾器
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應(yīng)用
Wafergard??MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用兼容

產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
?揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
經(jīng)過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒

運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR??兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok??兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）

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零件號(hào)

Wafergard? MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)

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