美國(guó)ENTEGRIS英特格，氣體過(guò)濾器 WGMXMSRR4

Wafergard  MAX 在線(xiàn) PTFE 氣體過(guò)濾器
 
應(yīng)用
Wafergard  MAX 在線(xiàn) PTFE 氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類(lèi)別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?nbsp;CDA 應(yīng)用兼容

產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測(cè)下限為 5 ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
經(jīng)過(guò)測(cè)試 1 x 10 -9 atm-cc/秒

運(yùn)行條件
最大入口壓力
Silver 和 Bronze Plus 1⁄4" 和 1⁄2" VCR  兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
青銅 1⁄4" 和 1⁄2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
Bronze 和 Bronze Plus 1⁄4"、3⁄8" 和 1⁄2" Swagelok  兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）

零件號(hào)

Wafergard® MAX 在線(xiàn) PTFE 氣體過(guò)濾器部件號(hào)