應(yīng)特格Optimizer去離子過濾器，CBUG0S0S1,ENTEGRIS

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液體光化學(xué)過濾器設(shè)計用于使用點 (PoU) 光刻工藝中的去離子水應(yīng)用。小膠囊外形和清潔的膜/支撐/外殼材料在 > 28 nm 節(jié)點應(yīng)用中提供高純度污染物去除性能。
應(yīng)用
Optimizer ?去離子過濾器應(yīng)用
行業(yè)：半導(dǎo)體（光刻）
化學(xué)：光化學(xué)、溶劑
安裝點：工具點
?產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?膜：?? ?UP*
??? ?支撐、芯、套筒：?? ?高密度聚乙烯
??? ?住房：?? ?聚丙烯
膜面積?? ?DI?? ?1800 平方厘米（1.94 平方英尺）
??? ?DI-L?? ?3600 平方厘米（3.88 平方英尺）
??? ?DI-L (20 納米)?? ?2100 平方厘米（2.26 平方英尺）
留存率?? ?DI、DI-L?? ?0.2、0.1、0.05 μm、20 nm
配件?? ?提供多種接頭，包括 Super Type Pillar ?接頭、壓縮密封（Swagelok ?兼容接頭）和 Flaretek ?接頭。
運行條件?? ?最大入口壓力?? ?0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm2) @ 25°C (77°F)
??? ?最大正向/反向壓差?? ?0.345 MPa (3.45 bar, 50 psi, 3.52 kg/cm2) @ 25°C (77°F)
??? ? ?? ?0.28 MPa (2.8 bar, 40 psi, 2.8 kg/cm2) @ 25°C (77°F)
??? ?工作溫度?? ?60°C (140°F)
*表面改性UPE
Entegris 建議客戶至少每年更換一次過濾器，以確保獲得最佳過濾性能。例行的年度更換還將減少因過度使用而導(dǎo)致的化學(xué)品泄漏的可能性。
我們的標(biāo)準(zhǔn)保修期為 1 年（從 Entegris 發(fā)貨日期算起）。

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Optimizer ?DI 過濾器部件號
零件號?? ?光刻技術(shù)?? ?長度?? ?留存率?? ?聯(lián)系
CBUG0L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUG0S0F1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，F(xiàn)laretek ?接頭
CBUG0S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，Super type Pillar ?接頭
CBUG0S0S1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUG2L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUG3L0F1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，F(xiàn)laretek ?接頭
CBUG3L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUG3L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUG6S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2微米?? ?6 mm 入口/出口，4 mm 排氣口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUG8L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.2微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUG8S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.2微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV0L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.1微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，Super type Pillar ?接頭
CBUV0L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.1微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUV0S0F1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，F(xiàn)laretek ?接頭
CBUV0S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，Super type Pillar ?接頭
CBUV0S0S1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUV2L0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV2S0S1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUV3L0F1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口 Flaretek ?接頭
CBUV3L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.1微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV3L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.1微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUV3S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV6S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?6 mm 入口/出口，4 mm 排氣口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV8L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.1微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUV8S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.1微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUX3L0P1?? ?射頻?? ?長膠囊?? ?20納米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUX8L0P1?? ?射頻?? ?長膠囊?? ?20納米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUX8S0P1?? ?射頻?? ?短膠囊?? ?20納米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUZ0L0F1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，F(xiàn)laretek ?接頭
CBUZ0L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUZ0S0F1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，F(xiàn)laretek ?接頭
CBUZ0S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，Super type Pillar ?接頭
CBUZ0S0S1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/4" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUZ2L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?1/2" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUZ3L0F1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口 Flaretek ?接頭
CBUZ3L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 通風(fēng)口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUZ3L0S1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?3/8" 入口/出口，1/4" 排氣口/排水口，壓縮接頭
CBUZ3L0X1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?—
CBUZ6S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?6 mm 入口/出口，4 mm 排氣口/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUZ8L0P1?? ?氯化鉀?? ?長膠囊?? ?0.05 微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭
CBUZ8S0P1?? ?氯化鉀?? ?短膠囊?? ?0.05 微米?? ?8 mm 入口/出口，4 mm 排氣/排水口，Super Type Pillar ?接頭