韓國tk-fujikin全金屬濾芯過濾器，SS-A200-4VM
韓國tk-fujikin全金屬濾芯過濾器，SS-A200-4VM
韓國tk-fujikin全金屬濾芯過濾器，SS-A200-4VM
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金屬濾芯過濾器系列
TK-FUJIKIN 可以提供不同的元件類型，例如不銹鋼和哈氏合金。
金屬元件由SUS316L和哈氏合金經(jīng)金屬粉末特殊處理后
燒結(jié)而成，通過精細(xì)加工的孔徑實(shí)現(xiàn)了與傳統(tǒng)粉末燒結(jié)元件相比的高去除率、低壓降。
采用哈氏合金、SUS 燒結(jié)的元件
在高壓范圍內(nèi)仍具有穩(wěn)定的過濾能力、出色的抗腐蝕和耐熱性。
超高純度在線氣體過濾器
■ 全316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)
■ 高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用
■ 緊湊的尺寸和可變端接?
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特征■ 15 至 300SLPM 的寬范圍流量■ 與大多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性。■ 3 納米顆粒過濾能力以最小的壓降保持高流動(dòng)效率。■ 5Ra 電拋光表面可防止內(nèi)部污染。■ 去離子水清洗后用熱氮?dú)夂婵?，符合半?dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)。■ Class 100 制造、清潔和包裝環(huán)境。■ 100% 氦泄漏測試。訂購信息
| 尺寸 |
聯(lián)系 |
| 4 |
1/4" |
虛擬機(jī) |
MFS公型 |
| 6 |
3/8" |
西南 |
樂型 |
| 8 |
1/2" |
? |
? |
規(guī)格
| 移除評(píng)級(jí) |
≥ 0.0025 ? |
| 保留 |
大于 99.9999999999% 去除所有小至 0.0025 um 的顆粒 |
| 額定流量@10^9 |
15 SLPM |
| 60 升/分鐘 |
| 120 英寸/分鐘 |
| 200 升/分鐘 |
| 300 英尺/分鐘 |
| 材料 |
濾芯 |
316L不銹鋼 |
| 電拋光外殼 |
SM/DM 316L 不銹鋼 |
| 操作條件 |
最大入口壓力 |
21 MPa (210kgf/cm2) 在 20 °C |
| 最大壓差 |
15 MPa (153kgf/cm2) 在 20 °C |
| 最高工作溫度 |
460 °C（惰性氣體） |
| 氦泄漏等級(jí) |
1 x 10^-9 atm · cc / sec |
| 表面處理內(nèi)部 |
≤ Ra 5μin |
方面
| 零件編號(hào) |
一個(gè)/毫米 |
寬/毫米 |
厘米/毫米 |
深/毫米 |
E/毫米 |
F/毫米 |
唔 |
| SS-A15-4VM |
15.5 |
53 |
15.5 |
27 |
30 |
27 |
84 |
| SS-A15-4SW |
10 |
53 |
10 |
27 |
30 |
27 |
73 |
| SS-A60-4VM |
15.5 |
53 |
15.5 |
27 |
30 |
27 |
84 |
| SS-A60-4SW |
10 |
53 |
10 |
27 |
30 |
27 |
73 |
| SS-A60-6(8)VM |
19 |
53 |
19 |
27 |
30 |
27 |
91 |
| SS-A120-4VM |
15.5 |
96 |
15.5 |
29 |
33 |
30 |
127 |
| SS-A120-4SW |
10 |
96 |
10 |
29 |
33 |
30 |
116 |
| SS-A120-6(8)VM |
19 |
96 |
19 |
29 |
33 |
30 |
134 |
| SS-A120-6(8)SW |
12 |
96 |
12 |
29 |
33 |
30 |
120 |
| SS-A200-4VM |
15.5 |
98 |
15.5 |
35 |
39 |
35 |
129 |
| SS-A200-4SW |
10 |
98 |
10 |
35 |
39 |
35 |
118 |
| SS-A200-6(8)VM |
19 |
98 |
19 |
35 |
39 |
35 |
136 |
| SS-A200-6(8)SW |
12 |
98 |
12 |
35 |
39 |
35 |
122 |
| SS-A300-4VM |
15.5 |
98 |
15.5 |
35 |
39 |
35 |
129 |
| SS-A300-4SW |
10 |
98 |
10 |
35 |
39 |
35 |
118 |
| SS-A300-6(8)VM |
19 |
98 |
19 |
35 |
39 |
35 |
136 |
| SS-A300-6(8)SW |
12 |
98 |
12 |
35 |
39 |
35 |
122 |
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