英特格Eximor? SV1 一次性過濾器，PRLV0S1S1

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Eximor??SV1?一次性過濾器是高清潔使用點?(POU)?過濾器，適用于?RRC?溶劑和?NTD?顯影劑等關(guān)鍵光化學物質(zhì)。

在?28?nm?以下的技術(shù)節(jié)點提供出色的粒子保留和快速啟動
芯填充結(jié)構(gòu)減少了整個過濾器啟動時間并降低了過濾器啟動期間的成本
高效啟動有助于減少缺陷并實現(xiàn)快速、高穩(wěn)定性和可重復性?
專有的聚乙烯基薄膜技術(shù)可減少晶圓上的缺陷并以低壓力損失去除細顆粒
非篩分效應(yīng)進一步減少顆粒并在啟動過程中將清潔溶劑輸送到晶圓上?

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產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?篩選?? ?UPE
??? ?外殼、核心、支撐?? ?高密度聚乙烯（HDPE）
??? ?O型圈（OF型）?? ?卡雷茲
使用條款?? ?最大工作壓力?? ?0.34 Mpa @ 25°C
??? ?最大允許正壓差/反向壓差?? ?0.27MPa @ 25°C
??? ?最高工作溫度?? ?40°C
對應(yīng)化學液?? ?環(huán)己酮 (CHN)、甲基戊基酮 (MAK)、乙酸正丁酯 (nBA)、乳酸乙酯 (EL)、丙二醇甲醚乙酸酯 (PGMEA)、丙二醇單甲醚 (PGME)、所有 PGME/PGMEA 混合溶劑
保持音量?? ?110 毫升?? ??
流量?? ?250 mL/min (20 °C, 1 mPa s) @ 壓降 0.03 MPa
Entegris 建議至少每年更換一次過濾器，以確保獲得最佳過濾性能。定期更換可減少因過度使用而導致化學品泄漏的機會。
Entegris 的標準保修期為自發(fā)貨之日起一年。