ENTEGRIS應(yīng)特格，過濾器WG2FT1SS2現(xiàn)貨

Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。 

PTFE 膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
     濾芯
     由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
住房    電拋光 VAR 316L 不銹鋼
下游清潔度     小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 µm 
揮發(fā)物    <10 ppb 水分
移除等級    ≥0.0015 µm    
表面處理內(nèi)部    ≤7 µin Ra    
氦泄漏等級    合格的    2 × 10 -10毫升/秒
經(jīng)過測試    1 × 10 -9毫升/秒
運(yùn)行條件    最大入口壓力    207 bar (3000 psig) @ 23°C (73°F)
最大正向壓差    4 巴 (60 psid) @ 23°C (73°F)
 
最大反向壓差    0.07 MPa (0.7 bar,10 psid) @ 23°C (73°F)
 
最高工作溫度    120°C (248°F)
顆粒保留
     大于 99.9999999% (9 LRV) 在 30 slpm 下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級    參考性能數(shù)據(jù)    
Wafergard  II F 微型在線氣體過濾器部件號
零件號    接頭尺寸和類型    長度    應(yīng)用
WG2FT1BW2    1/4" 對焊管    89.9 毫米（3.54 英寸）    半導(dǎo)體
WG2FT1RF2    1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）公入口/母出口    88.9 毫米（3.50 英寸）    半導(dǎo)體
WG2FT1RR2    1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L    1/4" 墊片密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口    84.1 毫米（3.31 英寸）    生命科學(xué)
WG2FT1SS2    1/4" 壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容）    73.7 毫米（2.90 英寸）    半導(dǎo)體