英特格ENTEGRIS在線氣體過濾器WG2F15HJJ6

Wafergard??II?F-1500?在線氣體過濾器
幻燈片細節(jié)。?
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為超純氣體系統(tǒng)提供卓越的微粒過濾，同時提供與所有類別的半導體工藝氣體的出色兼容性。
PTFE?膜提供高效過濾?
低壓降降低了低蒸氣壓氣體冷凝的風險?
與所有類別的半導體工藝氣體具有出色的兼容性?
通過真空袋和雙袋包裝的潔凈室提供卓越的開箱即用清潔度

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應用
Wafergard?II?F-1500?在線氣體過濾器應用
設(shè)施入口
隔板
設(shè)施追逐?
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房? 電拋光?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?>0.01?μm
揮發(fā)物 <10?ppb?水分@≥5%?額定流量
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤10?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2×10?-10??atm?cc/秒
經(jīng)過測試 1×10?-9??atm?cc/秒
運行條件 最大入口壓力 18?bar?(250?psig)?在?23°C?(73°F)
最大正向壓差 7?bar?(120?psid)?在?23°C?(73°F)
最大反向壓差 23°C?(73°F)?時為?2.5?bar?(36?psid)
最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?1500?slpm?下去除所有顆粒（參考最滲透顆粒尺寸）
流量等級 查看性能數(shù)據(jù)
零件號
Wafergard??II?F-1500?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG2F15HJJ4 1/2"?對焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HJJ6 3/4"?對焊管 295.0?毫米（11.60?英寸）
WG2F15HRR2 3/4"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容），外螺紋入口/出口 398.0?毫米（15.68?英寸）
WG2F15HRR3 3/8"?墊圈密封（與?VCR??接頭兼容）外螺紋入口/出口 225.0?毫米（8.86?英寸）

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ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGGB01KAN?? ?氣體過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFG02PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CR8-2CT-12FF-3?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103P?? ?濾殼
ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?XX67000WH?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGGB01KAN?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01KL0?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?偵測器
Entegris?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG3NS6RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?YY260103N?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?CR4-2C-6F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DS0（一包十個）?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ? CTFV01P01KPW?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3 13085331?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS2RR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?CWFV0S1S3?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?DS12-2C-16F-3?? ?氣動閥
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
entegris?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG2SS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E6?? ?濾芯
Entegris?? ??? ?SVTH01TQ1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?CN2501E06?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFG01DSH?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K12?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K04?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLMV-K16?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K04?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K08?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K12?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?PLPV-K16?? ?閥
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR2?? ?
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Entegris?? ??? ?YY5032PS1?? ?過濾器
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Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
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ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F15HJJ6?? ?濾芯
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPRR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器