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過(guò)濾/純化

ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS4JJ2，WG3NS4RR2，WG3NS7SL2
ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS4JJ2，WG3NS4RR2，WG3NS7SL2

ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS4JJ2，WG3NS4RR2，WG3NS7SL2

?Wafergard?III?NF-100?在線氣體過(guò)濾器
全金屬過(guò)濾器在惰性和反應(yīng)性氣體應(yīng)用中具有出色的耐腐蝕性和出色的兼容性，流量高達(dá)?100?slpm
合身尺寸
1/4"
配件類型
密封墊片
長(zhǎng)度
84.1?毫米（3.31?英寸）
最大工作壓力
50?巴（725?磅/平方英寸）
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過(guò)濾器
為高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用中的超純氣體系統(tǒng)提供卓越的微粒過(guò)濾。

可用的最清潔、最高效的全金屬過(guò)濾器
鎳濾膜?
優(yōu)越的耐腐蝕性
高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
通常用于高達(dá)?75?slpm?的流量
應(yīng)用
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
閥組箱
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
注意：不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
產(chǎn)品規(guī)格
材料濾芯獲得專利的燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
住房電拋光?VAR?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度粒子1 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
揮發(fā)物2 H?2?O、O?2和?THC?的揮發(fā)性釋氣低于可檢測(cè)限（在室溫下通過(guò)?RGA?和?FID）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤5?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?×?10?-10??atm?cc/秒
經(jīng)過(guò)測(cè)試 1?×?10?-9?atm?cc/秒
最大工作條件最大入口壓力 70?巴?(1000?psi)?@?100°C
最大正向/反向壓差 10?巴?(150?psid)
最高工作溫度惰性氣體 400°C?@?35?bar?(500?psi)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體 50°C?@?70?bar?(1000?psi)
保修單 5年
顆粒保留大于?99.9999999%?(9?LRV)?在最大額定流量下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí) 查看性能數(shù)據(jù)
1顆粒清潔度符合?SEMASPEC?顆粒脫落測(cè)試方法?(#93021511A-STD)。
2揮發(fā)性清潔度符合?SEMASPEC?測(cè)試方法的要求：THC?貢獻(xiàn)?(#90120396B-STD)、水分貢獻(xiàn)?(#90120397B-STD)?和氧氣貢獻(xiàn)?(#90120398B-STD)。
零件號(hào)
Wafergard?III?NF-75?在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型長(zhǎng)度
WG3NS4JJ2 1/4"?對(duì)焊管 71.4?毫米（2.81?英寸）
WG3NS4RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG3NS7SL2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
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ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
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ENTEGRIS?? ??? ?PN2H010E1?? ?濾芯
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