應用
—
?半導體
?數(shù)據(jù)存儲
?平板顯示器
?LED
?太陽能

功能和優(yōu)點
—
過程控制和保護純度控制低于十億分之一（ppb）水平
通過凈化器的低壓降
CE認證符合壓力設備指令（PED）
在ISO?9001:2015設施中制造
經(jīng)濟高效的再生-消除了處置問題和成本
使用壽命長--提高了擁有成本
使用安全簡單使用環(huán)境溫度凈化-無需加熱或供電
需要操作
對方向不敏感（水平?/?豎的


通用規(guī)范
—
氣體凈化H2、D2、N2、Ar、He、Ne、Kr、Xe、H2/N2、H2/惰性氣體
去除雜質(zhì)污染物出口純度
H2O<100 pptV
O2<100 pptV
CO<100 pptV
二氧化碳<100 pptV
出口顆粒過濾器Wafergard?--316不銹鋼膜，20μm或0.0015μm
壽命一年，入口挑戰(zhàn)為1 ppm濕度、1 ppm氧氣，流速
如下一頁所示。
壽命隨入口雜質(zhì)和流速的不同而變化。聯(lián)系Entegris
應用程序特定的壽命計算。
可重新生成是
危險品（DG）是，UN3190，4.2級
工作溫度0°??– 65°C（32°??– 149°F）
泄漏額定值1×10-9 atm cc/sec的He
外殼材料：316L不銹鋼
CE認證，符合壓力設備指令（PED）
根據(jù)ASME?設計


操作規(guī)范
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模型
大限度
流量
壽命為1
今年的這個
流速，
含1 ppm
濕度和
1ppm氧氣
大限度
操作
壓力-
僅限凈化器
大限度
操作
壓力-
帶有的凈化器
選項
壓降，
具有20μm
顆粒過濾器*
壓力
下降，帶有
0.0015微米
顆粒過濾器*
GPU 35 1 slpm 0.7 slpm 1400 psig 250 psig–0.3 psid
GPU 70 5 slpm 1.0 slpm 1400 psig 250 psig–0.5 psid
GPU 80 10 slpm 1.2 slpm 1400 psig 250 psig–1.0 psid
GPU 100 20 slpm 1.7 slpm 1000 psig 250 psig–16.7 psid
GPU 200 20 slpm 2.8 slpm 800 psig 250 psig–0.7 psid
GPU 300 50 slpm 4.2 slpm 800 psig 250 psig–1.3 psid
GPU 500 75 slpm 8.0 slpm 600 psig 250 psig–1.3 psid
GPU 700 120 slpm 12.0 slpm 600 psig 250 psig–1.8 psid
GPU 2500 4R 300 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig–5.0 psid
GPU 2500 8R 500 slpm 45.0 slpm 505 psig 250 psig–5.6 psid
GPU 3000 500 slpm 52.5 slpm 505 psig 250 psig–5.6 psid
GPU 5000 500 slpm 85.0 slpm 505 psig 250 psig–7.0 psid
GPU 10M 8R 1000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig–5.8 psid
GPU 10M 12R 1000 slpm 170.0 slpm 370 psig 250 psig–8.0 psid
GPU 13M 12R 2000 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid–
GPU 13M 16R 2500 slpm 210.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid–
GPU 17M 12R 2000 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 2.0 psid–
GPU 17M 16R 2500 slpm 270.0 slpm 370 psig 250 psig 3.0 psid–
GPU 20M 12R 2000 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig–19.0 psid
GPU 20M 16R 2500 slpm 320.0 slpm 370 psig 250 psig–19.0 psid


GPU模型
聯(lián)系
尺寸（VCR）
入口/出口
連接類型
（VCR）
外部
直徑（OD）
總長度
（目標）
近似
重量
GPU 35 1/4“外螺紋/外螺紋38.1毫米（1.5英寸）84毫米（3.3英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 70 1/4“外螺紋/外螺紋38.1毫米（1.5英寸）114毫米（4.5英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 80 1/4“外螺紋/外螺紋38.1毫米（1.5英寸）127毫米（5.0英寸）0.3公斤（0.7磅）
GPU 100 1/4“外螺紋/外螺紋N/A 84 mm（3.3”）0.9 kg（2.0 lbs）
GPU 200 1/4“外螺紋/外螺紋50.8毫米（2.0英寸）157毫米（6.2英寸）0.9公斤（2.0磅）
GPU 300 1/4“外螺紋/外螺紋50.8毫米（2.0英寸）208毫米（8.2英寸）1.1公斤（2.5磅）
GPU 500 1/4“外螺紋/外螺紋76.2毫米（3.0英寸）201毫米（7.9英寸）1.8公斤（4.0磅）
GPU 700 1/4“外螺紋/外螺紋76.2毫米（3.0英寸）254毫米（10.0英寸）2.5公斤（5.5磅）
GPU 2500 4R 1/4“外螺紋/外螺紋101.6毫米（4.0英寸）439毫米（17.3英寸）6.8公斤（15磅）
GPU 2500 8R 1/2“外螺紋/外螺紋101.6毫米（4.0英寸）445毫米（17.5英寸）6.8公斤（15磅）
GPU 3000 1/2“外螺紋/外螺紋101.6毫米（4.0英寸）508毫米（20.0英寸）7.3公斤（16磅）
GPU 5000 1/2“外螺紋/外螺紋101.6毫米（4.0英寸）785毫米（30.9英寸）10.0公斤（22磅）
GPU 10M 8R 1/2“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）737毫米（29.0英寸）20公斤（44磅）
GPU 10M 12R 3/4“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）749毫米（29.5英寸）21.8公斤（48磅）
GPU 13M 12R 3/4“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）892毫米（35.1英寸）24.9公斤（55磅）
GPU 13M 16R 1“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）899毫米（35.4英寸）24.9公斤（55磅）
GPU 17M 12R 3/4“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）1085毫米（42.7英寸）29.5公斤（65磅）
GPU 17M 16R 1“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）1090毫米（42.9英寸）29.5公斤（65磅）
GPU 20M 12R 3/4“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）1290毫米（50.8英寸）34公斤（75磅）
GPU 20M 16R 1“外螺紋/外螺紋152.4毫米（6.0英寸）1296毫米（51.0英寸）34公斤（75磅）

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