半導(dǎo)體制造流程的使用環(huán)境要求供氣系統(tǒng)具備高純度化、高可靠性。
KITZ SCT的SCV(Super Clean Valves)能滿足客戶需求,可靠性、耐久性出色。該產(chǎn)品的特點(diǎn)包括:通過限度縮小內(nèi)容積提高氣體置換性;通過縮小密封圈接氣面積提高脫氣性并防止塑料膨脹;通過使用鋁材制造活塞提高閥門工作速度等。
以高級(jí)類型[KD系列]為代表,KITZ SCT運(yùn)用高超的技術(shù)實(shí)力和豐富的技術(shù)訣竅,提供符合各種用途的產(chǎn)品。
“VLD”系列隔膜閥以“KD”系列為基礎(chǔ),提高了易用性、簡(jiǎn)潔性。
實(shí)現(xiàn)了驅(qū)動(dòng)部件數(shù)量的zui小化、簡(jiǎn)單化。
◎在基本性能、材料和潔凈度不變的同時(shí)改進(jìn)部件、變更加工方法并削減部件數(shù)量,不僅安全,而且性價(jià)比高。
◎清洗工序和檢查工序與以往類型相同,可靠性和耐久性性能不變。
◎采用等級(jí)的制造環(huán)境和內(nèi)面研磨處理,可用于半導(dǎo)體用高純度氣體,限度改善了防顆粒性能。

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1/4" Female Manual Valve(PCTFE)
1/4" Male Peumatic Valve(PCTFE)
1/4” Female Pneumatic Valve(PCTFE)
1/4" Fenale Pneuatic Valve(PCTFE)
1/4” Mount Valve-3Way(PFA)
1/4” Mount Valve-2Waw(PFA)
1/2" lale Pneumatic Valve-(FFA)
1/4” lale Pneumatic Valve (PFA)
1/2” Male Pneumatic Valve(PFA)
1/2”Iale Peuatic Valve(150C<)
1/4”lount Valve 3Way(150℃<)
1/4”llount Valve-2Way(150℃<)
1/4” Female lanual Valve (PFA)
KD4MS-VFC-EP-316L KD4CS-VC-EP-316L KD4CS-VFC-EP-316L KD4CS-VFC-EP-316L TD4CB-GA-2572-SEP TD4CS-GA-2571-SEP KD8CS-VA-EP-316L KD4CS-VA-EP-316L KD8CS-VA-EP-316L KD8SCS-VA-EP-316L TD4ACB-GA-SEP TD4ACS-GA-4194-SEP KD4MS-VFA-EP-316L
KD2QB-VC
KD4QB-VC
KD8QB-VC
KD2QB-VFC
KD4QB-VFC
KD8QB-VFC
KD2QB-WC
KD4QB-WC
KD6QB-WC
KD8QB-WC
KD2 S-VC
KD4 S-VC
KD8CS-VC
KD8OS-VC
KD12CS-VC
KD120S-VC
KD2 S-VFC
KD4 S-VFC
KD2MS-VC
KD4MS-VC
KD8MS-VC
KD12MS-VC
KD2MS-VFC
KD4MS-VFC
KD8MS-VFC
KD12MS-VFC
KD2MS-SC
KD4MS-SC
KD6MS-SC
KD8MS-SC
KD12MS-SC
KD2MS-WC
KD4MS-WC

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KCD4MS-VC KCD4MS-VFC KCD4MS-WC KD2MB-VC KD4MB-VC KD8MB-VC KD2MB-VFC KD4MB-VFC KD8MB-VFC KD2MB-WC KD4MB-WC KD6MB-WC KD8MB-WC
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