產(chǎn)品規(guī)格
材料?? ?過濾元件:NF - 專利的燒結(jié)鎳膜?? ?SF - 專有的燒結(jié)不銹鋼膜
外殼底座塊:SEMI? F20 316L 電拋光不銹鋼
進(jìn)/出連接件:SurfaceLine 1.125" C 型密封件
拆除等級:>0.0015 微米
內(nèi)表面光潔度:<5 微米 Ra
氦氣泄漏等級:已認(rèn)證:2×10-10 立方厘米/秒 測試:1×10-9 立方厘米/秒
下游清潔度?? ?顆粒*?? ?<0.03 顆粒/升(<1 顆粒/立方英尺)≥0.01 微米
揮發(fā)物** 氫氣、氧氣和總碳?xì)浠衔锏膿]發(fā)性氣體釋放量在室溫下低于可檢測限(通過 RGA 和 FID 測定)
顆粒保留?? ?NF - 對所有顆粒的去除率大于 99.9999999%(以最穿透的顆粒尺寸為基準(zhǔn))
SF - 對所有顆粒的去除率大于 99.9999%(以最穿透的顆粒尺寸為基準(zhǔn))
運(yùn)行條件?? ?最大進(jìn)氣壓力?? ?34.5 巴(500 磅/平方英寸)@ 20°C(68°F)
最大正向/反向壓差?? ?10 巴(150 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)NF-Micro 和 SF-Micro
8 巴(115 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)NF-Mini 和 NF-Mini XL
20 巴(300 磅/平方英寸)@ 23°C(73°F)
最大工作溫度 無害氣體:400°C(752°F)@ 35 巴(500 磅/平方英寸)
腐蝕性和反應(yīng)性氣體:50°C(122°F)@ 35 巴(500 磅/平方英寸)

Part number Description
WGSLNFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Micro filter
WGSLNFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini filter
WGSLNFC1H Wafergard SL 1.125” C-Seal NF-Mini XL filter
WGSLSFC1L Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Micro filter
WGSLSFC1M Wafergard SL 1.125” C-Seal SF-Mini filter